Monolit technika
A Monolit technika áttekintés adása a monolit félvezető technológiákról, részint az alkalmazás, részint a megvalósítás szemszögéből. A monolit áramkörök szerkezetének ismerete segít a megfelelő eszközök kiválasztásában, gyártási lépéseinek ismerete pedig segit a fejlesztési igények megfogalmazásában.
Követelmények
- Jelenlét: A szorgalmi időszakban: az előadások 70%-án való részvétel a félév végi aláírás feltétele, ezt katalógus tartásával ellenőrizzük. A gyakorlati foglalkozások összóraszámának 30%-át meghaladó hiányzás esetén a tantárgy kreditpontja nem szerezhető meg.
- Zárthelyi: Az aláírás feltétele továbbá a zárthelyi dolgozat elégségesre való megírása. A zárthelyi osztályzata a vizsgajegy kerekítését befolyásolja.
- Vizsga: A tárgyból kötelező írásbeli vizsga van, a vizsgázó öt kidolgozandó tételt kap az előadásokon elhangzott anyagból. A vizsga időtartama 120 perc. A pótlási héten elővizsgát tartunk.
Tematika
Az előadott anyag
Monolit technológia alaplépései (alapanyag előállítása és minősítése, tisztítási, oxidnövesztési, diffúziós, rétegleválasztási, fotolitográfiai, fémezési és szerelési műveletek).
A méretcsökkentés hatásai és technológiai vonatkozásai
Monolit technológiával realizálható eszközök és áramkörtípusok (diszkrét bipoláris és MOS eszközök, teljesítmény eszközök, IGBT), integrált bipoláris, MOS és BiCMOS áramkörök, analóg és digitális integrált áramkörök, processzorok (katalógus IC, fogyasztói tervezésű és FPGA áramkörök), memóriák (ROM, PROM, EPROM, SRAM, DRAM).
Bevezetés a MEMS eszközök világába; érzékelők és beavatkozók működése és megvalósitása.
Az intelligens környezet hardver elemeinek megvalósitási lehetőségei. Érzékelők és jeleik feldolgozása..Öntápláló szenzorok: az energia kinyerés lehetőségei a környezetből.
Tantermi gyakorlatok
Nagyságrendek, koncentrációk, méretviszonyok a monolit IC technikában. Adalékolások, fajlagos ellenállások, potenciálok különféle monolit szerkezetekben, C-V görbe kiértékelési gyakorlat (adalékolás, felületi és határfelületi jellemzők számítása pn átmenet, illetve MOS rendszer C-V görbéiből).
IC ás MEMS layout és szerkezet elemzés, VLSI áramkörök jellegzetes alkatrész elrendezési elvei.
Segédanyagok
Székely Vladimír - Zólomy Imre: Félvezető memóriák
Mizsei János diáinak kivonata innen tölthető le, diái pedig a tárgyhonlapról tölthetők le.
